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电子行业超纯水设备工艺的特点
- 2022-04-11-

  电子行业超纯水设备用于保证电子产品的质量和安全,促进电子行业的健康运行。用于集成电路生产中用高纯水生产加工硅片、半导体材料和晶片材料。

  电子行业超纯水设备工艺的特点

  1.离子交换树脂的优点是初期投资少,占用空间少,缺点是需要频繁的离子再生,消耗大量酸碱,对环境有一定的破坏。

  2.采用反渗透作为预处理和离子交换设备,其特点是初投资次数比离子交换树脂高,但离子设备再生周期相对较长,酸碱消耗比单独使用离子树脂少得多。但是它仍然对环境有破坏性。

  3.采用反渗透作为预处理和电去离子(EDI)装置,对环境无害。缺点是与以上两种方式相比,初期投入太贵。

  4.采用反渗透作为预处理,并配有电去离子(EDI)装置、氮封水箱和抛光混床,其中氮封水箱可以防止CO2等其他物质溶解到水中影响水质,保证水箱中的水不受二次污染而导致水质下降。而抛光混床采用无化学沉淀的核级树脂,去除纯水中残留的微量带电离子和弱电解质,使水质达到18MΩ.cm以上,新的循环管道保证了水质不会被污染。这是目前非常环保的超纯水制备工艺。可连续制备超纯水,无需酸碱再生,对环境无损害。

  电子行业超纯水设备在工业中的具体应用领域

  1.半导体材料、器件、印刷电路板、集成电路半成品、半成品用超纯水。

  2.超纯水,用于混合超纯材料和超纯化学试剂。

  3.实验室和中试工厂用超纯水。

  4.汽车和家用电器的表面抛光处理。

  5.光电产品。

  6.其他高科技精细产品。

电子行业超纯水设备

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